一体化超纯水设备对清洁的要求有哪些？
超纯水设备
(1)、一体化超纯水设备内外清洗，所有滑动表面和螺钉，齿轮，齿条等都没有油，没有凸起，无漏油，无漏水，无漏气，无零件泄漏，芯片废物被清理干净。
(2)、整体一体化超纯水设备的清洁工具，工件和附件整齐摆放，安全保护装置齐全，线路管道完整。
(3)、实行固定和固定班次制度，熟悉设备结构，遵守操作规程，合理使用设备，认真维护一体化超纯水设备，防止事故发生。
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